旋转涂层机/匀胶机/匀胶仪旋涂仪/甩胶机/旋涂机 型号:ZRX-26227

产品简介：ZRX-26227匀胶仪旋涂仪
主要用于液体，胶体在材料表面形成薄膜。
ZRX-26227匀胶机旋涂仪 适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不锈钢，金属等制版表面涂覆艺。
ZRX-26227匀胶机旋涂仪 可在科研，教育，生产中应用。



ZRX-26227匀胶机
ZRX-26227匀胶机： 作腔内径D290mm 适合直径D10mm-280mm园片及 200mmX200mm方形片。

*ZRX-26227性能匀胶机旋涂仪26程序控制器：
可设定存储26个不同样片的旋转涂敷艺过程；
每个涂敷艺过程可以设置51步不同的速度状态；
加速度（及负加速度）。
中英文两套操作系统供选择。
操作系统内驻留涂敷艺过程模板程序，方便快速调试并存储程序。
设置程序：6键操作，人机交互式对话，提示操作。

*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 可连接滴胶机，自动控制在要的瞬间滴胶，自动控制重复定量滴胶。

*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 作腔可氮气保护。
对所有的环境变量（温度，湿度，洁净度）有效控制，

*ZRX-26227性能匀胶机旋涂仪 真空吸片，爪卡机构。2种作状态随意选择。 爪卡机构作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 中心结构定位：圆形基片使用具成中心定位。方便快捷，定位
片真空吸盘即可满足（ZRX-26227适用3英寸-11英寸基片）；（TA-360适用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盘。
*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 卡盘，吸盘品种丰富，适应各种需要。
*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 真空吸片系统更安：
安装有真空度传感器，涂敷作过程电脑实时检测系统真空度，须在安的真空度下，
电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。运行中失去真空，系统保护性停机。
*ZRX-26227匀胶机旋涂仪 伺服电机，转速度更：300 - 10000 转/分，转速稳定性：+ - 0.1 % 转速10000转/分

单相交流电源：220V.50Hz
电机率：200W
转数：300 - 10000 转/分。
可设定时间：1---9999秒。
尺寸： 490mm宽 x 380mm深 x 310 mm
中心定位
利用中心定位板，将基片在机器转轴中心定位。

中心定位板的孔位可以成4，6，8，10英寸基片定位。成匀胶。