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中瑞祥紫外光加臭氧清洗机工作原理
浏览次数:104发布日期:2024/11/21
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中瑞祥紫外光加臭氧清洗机工作原理




工作原理

VUV低压紫外汞灯能同时发射波长254nm和185nm的紫外光,这两种波长的光子能量可以直接打开和切断有机物分子中的共价键,使有机物分子活化,分解成离子、游离态原子、受激分子等。与此同时,185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3);而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和活性氧(O),这个光敏氧化反应过程是连续进行的,在这两种短波紫外光的照射下,臭氧会不断的生成和分解,活性氧原子就会不断的生成,而且越来越多,由于活性氧原子(O)有强烈的氧化作用,与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(如CO2,CO,H2O,NO等)逸出物体表面,从而清除了粘附在物体表面上的有机污染物。


3、大规模集成电路的密度越来越高,晶格的微细化越来越密,要求表面的洁净度越来越高,光清洗可以有效地实现表面的原子清洁度,而且对芯片表面不会造成损伤。

4、在半导体生产中,硅晶片涂保护膜、铝蒸发膜前进行光清洗,可以提高粘合力,防止针孔、裂缝的发生。

5、在光盘的生产中,沉积各种膜前作光清洗准备,可以提高光盘的质量。

6、磁头固定面的粘合,磁头涂敷,以及提高金属丝的连接强度,光清洗后效果更好。

7、石英晶体振荡器生产中,除去晶体检测后涂层上的墨迹,晶体在银蒸发沉积前,进行光清洗可以提高镀膜质量和产品性能。

8、在IC卡表面插装ROM前,经过光清洗可提高产品质量。

9、彩色滤光片生产中,光清洗后能洗净表面的有机污染物。

10、敷铜箔层压板生产中,经过光照改质,不仅表面洁净而且表面形成十分均匀的保护氧化层,产品质量显著提高。

11、光学玻璃经过紫外光清洗后,镀膜质量更好。

12、树脂透镜光照后,能加强与防反射板的粘贴性。

13、对清除石蜡、松香、油脂、人体体油、残余的光刻胶、环氧树脂、焊剂,以及带有氧化膜的金属表面处理,去除导电聚酰亚胺粘合剂上的有机污染物,光清洗是十分有效的方法。


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